Home >> Mga Produkto >> Makina ng mataas at mababang temperatura>> Mga servo ng vacuum/motor na pang-sulong

Mga servo ng vacuum/motor na pang-sulong

Makina ng serbong may vacuum Makina ng paglalakad na may vacuum Sobrang mataas na vacuum na motor Makabagong motor na walang hangin Makina ng pagmamaneho na may katumpakan sa vacuum

Ang mga servo at stepper motor na may vacuum ay angkop para sa mga matinding kapaligiran tulad ng vacuum, ultra-clean, mataas at mababang temperatura, at irradiation; may mababang pagpapalabas ng gas at mababang panginginig, at nagbibigay ng tumpak na kontrol sa posisyon, bilis, at metalikang kuwintas; angkop din para sa mga kagamitan sa semiconductor, aeronautika at astronautika, at pananaliksik.

Detalye ng Produkto

Pangkalahatang-ideya ng Produkto

Ang mga servo motor sa vacuum at stepper motor sa vacuum ay espesyal na idinisenyo bilang mga de-kalidad na kagamitan sa pagkontrol ng paggalaw para sa mga matinding kondisyon tulad ng sobrang mataas na vacuum, napakalinis, mataas at mababang temperatura, at kombinasyon ng irradiation. Sa pamamagitan ng mga natatanging materyal, walang pagsingaw na pagpapadulas, napakababang proseso ng paglabas ng gas, at disenyo ng istraktura sa malawak na saklaw ng temperatura, ang mga produkto ay maaaring magbigay ng tumpak na kontrol sa posisyon, bilis, at torque sa loob ng vacuum chamber. Ganito nila tuluyang nalutas ang mga nakamamatay na problema ng karaniwang pang-industriyang motor tulad ng polusyon dahil sa paglabas ng gas sa vacuum, pagkabigo sa pagpapalamig, pagkaantala dahil sa pagsingaw ng pagpapadulas, pagkabulok ng elektrikal, at pagkasira ng kalinisan ng chamber. Malawakang ginagamit ito sa mga larangan ng high-tech na mahusay na pagmamanupaktura, kagamitan sa semiconductor, optical coating, aeronautics at aerospace, defense industry, at mataas na antas na pananaliksik sa siyensya, at ito ay isang pangunahing bahagi ng lakas para sa mga de-kalidad na awtomatikong kagamitan sa vacuum.

Mga Pangunahing Tampok

  1. Tumpak na pagkontrol ng paggalaw sa matinding kapaligiran: Sa mga kondisyon ng vacuum, sobrang kalinisan, mataas at mababang temperatura, at kombinasyon ng irradiation, patuloy na nagbibigay ng tumpak na kontrol sa posisyon, bilis, at torque nang walang paglilihis o pagyanig.
  2. Super low outgassing at super clean operation: Gamit ang espesyal na sistema ng materyal, mahigpit na kinokontrol ang mga volatile substance upang hindi makapagdulot ng polusyon sa vacuum chamber, na tinitiyak ang mataas na antas ng kalinisan ng kapaligirang pangproseso.
  3. Espesyal na long-life lubrication system para sa vacuum: Ang lubrikanteng may mababang pagbabago sa temperatura sa antas ng vacuum ay tuluyang iniiwasan ang pagsingaw, pagkatuyo, at pagkabulok ng langis sa vacuum, na nagbibigay ng napakahabang panahon ng walang pangangailangang mag-maintain.
  4. Mahusay na adaptasyon sa matinding temperatura: May kakayahang umangkop sa malawak na saklaw ng temperatura mula sa sobrang mababang temperatura hanggang sa mataas na temperatura, na pinapanatili ang katatagan ng mga katangian ng materyal at hindi nagiging deformed, nabubulok, o nagiging stuck dahil sa pagkakaiba ng temperatura.
  5. Estratehiyang lumalaban sa irradiation at lumalaban sa pagtanda: Kayang tiisin ang mga kapaligirang irradiation sa pananaliksik at space, na hindi nagiging mahina ang mga katangiang elektrikal at mekanikal, at angkop para sa mga eksperimentong deep space at high-energy.
  6. Disenyo ng insulasyon at pagpapalamig na angkop sa vacuum: Solusyon sa problema ng kawalan ng konbeksyon sa pagpapalamig sa vacuum, na iniiwasan ang pagkabulok ng mga winding, pagkasunog ng electrical components, at iba pang mga sira sa elektrikal.

Target na Mga Customer

Para sa mga high-end B2B na customer na nangangailangan ng tumpak na awtomatikong pagkontrol ng paggalaw sa mga matinding kapaligiran tulad ng vacuum, sobrang kalinisan, irradiation, at mataas at mababang temperatura:

Mga tagagawa ng kagamitan sa semiconductor, mga tagagawa ng optical coating at kagamitan sa vacuum processing

Mga institusyon na nagsasagawa ng pananaliksik at pag-unlad ng espesyal na kagamitan para sa aeronautics at aerospace, at defense industry

Mga institusyon ng pananaliksik sa high-energy physics, mga tagapagtustos ng mga kagamitan sa eksperimentong vacuum sa laboratoryo

Mga tagagawa ng mga de-kalidad na instrumento, electron microscope, epitaxial equipment, at vacuum robotic equipment

Pagsulong sa mga Pangunahing Problema ng Industriya

1. Polusyon sa vacuum dahil sa paglabas ng gas: Ang mga karaniwang motor ay nagpapalabas ng malaking halaga ng mga organikong sangkap sa vacuum, na nagreresulta sa pagbuo ng mga partikulo at condensable volatiles, na sumisira sa ultra-high vacuum na malinis na kapaligiran at nagiging sanhi ng pagkasira ng mga wafer at mga proseso ng coating.

2. Pagkabulok dahil sa hindi maayos na pagpapalamig sa vacuum: Dahil walang konbeksyon ng hangin sa vacuum, ang init mula sa mga karaniwang motor ay hindi maaaring maalis, na nagiging sanhi ng pagkabulok ng magnetismo, pagkabulok ng insulasyon, at pagkasunog ng mga winding sa matagal na operasyon sa mataas na temperatura.

3. Mabilis na pagkabulok at pagkaantala dahil sa pagpapadulas: Ang mga karaniwang grease ay mabilis na nagsisingaw, nagiging tuyot, at nagiging masama sa vacuum environment, na nagiging sanhi ng pagkaantala ng bearings at pagkabulok ng mga mekanismo ng paggalaw.

4. Pagbagsak ng performance sa matinding saklaw ng temperatura: Sa mga kondisyon ng alternating mataas at mababang temperatura, ang mga materyal ng mga karaniwang motor ay nagiging deformed, bumababa ang torque, at nagiging hindi epektibo ang istraktura, na hindi na kayang magbigay ng tumpak na pagkontrol.

5. Pagkabulok dahil sa pagtanda sa kapaligirang irradiation: Ang mga karaniwang motor ay hindi kayang lumaban sa irradiation, at sa matagal na paggamit sa mataas na enerhiya, ang mga istruktura ng elektrikal ay mabilis na tumanda, na nagiging sanhi ng mga sira sa kagamitan at pagkabigo sa mga misyon.

6. Kahirapan sa pagkuha ng sertipikasyon ng buong makina sa vacuum: Ang mga karaniwang motor ay walang mga parameter ng vacuum at sertipikasyon ng kalinisan, na nagiging sanhi ng pagkabigo ng buong kagamitan ng customer na makatugon sa mga pamantayan ng ultra-high vacuum at aerospace-grade cleanliness.

Nakasusukat na Halaga para sa Mga Customer

Una, malaki ang pagtaas ng rate ng kalidad ng proseso at kapasidad ng produksyon ng kagamitan (pangunahing benepisyo para sa mga kagamitan sa semiconductor/optical processing):

1. Pagsulong ng rate ng kalidad ng mga wafer at substrates ng 1%-5%

Ang vacuum motor na ito ay may katangian ng paglikha ng napakababang dami ng mga particle, na mahigpit na kinokontrol sa ilalim ng <1×10⁵ particles/m² (sa diameter na >0.1μm), habang ang amplitude ng vibration ay mas mababa sa 0.01g. Ang ganitong katangian ng pagpapatakbo na may napakababang vibration at napakababang particle ay malaki ang epekto sa pagbawas ng mga punto ng depekto sa mga proseso ng vacuum deposition at etching, na tuluyang iniiwasan ang mga polusyon na nagiging sanhi ng mga problema. Para sa isang 12-inch wafer fab na gumagawa ng 40,000 wafer bawat buwan, kung tataas ng 1% ang rate ng kalidad ng proseso, maaaring madagdagan ang taunang net profit ng daan-daang milyon hanggang sa libu-libong milyon, na siyang pangunahing punto ng halaga para sa pinakamataas na return on investment sa pag-upgrade ng kagamitan.

2. Pagsulong ng kabuuang output ng kagamitan ng 10%-30%

Ang high-torque density at mabilis na dynamic response ng vacuum servo motor ay nagpapabilis sa oras ng pag-accelerate ng kagamitan sa mas mababa sa 10ms. Ang mga vacuum robotic arm na nilagyan ng motor na ito ay maaaring pabagalin ang oras ng pagkuha at paglalagay ng wafer mula sa 2.5 segundo hanggang sa 1.8 segundo, na malaki ang epekto sa pagtaas ng bilang ng mga substrate na maproseso sa bawat yunit ng oras. Ito ay makakatulong sa mga tagagawa ng kagamitan na palakasin ang performance ng bawat makina at taasan ang premium ng kanilang mga produkto, habang maaari rin itong makatulong sa mga end-user na wafer at coating factory na palakihin ang kanilang kapasidad at pagiging produktibo, na tuluyang nagpapataas ng overall capacity utilization.

Ikalawa, malaki ang pagbawas sa kabuuang gastos sa buhay ng kagamitan:

1. Pagsulong ng MTBF ng kagamitan ng 3-6 na beses, na nagpapababa ng non-planned downtime ng 70%

Ang average na interval ng pagkabigo ng mga karaniwang motor sa vacuum condition ay nasa 5,000 oras lamang, na madalas na nagiging sanhi ng pagkabulok at pagkaantala dahil sa paglabas ng gas na nagpaparumi sa layer ng pagpapadulas at hindi maayos na pagpapalamig sa vacuum. Ang vacuum motor na ito ay gumagamit ng espesyal na low-evaporation lubricant at heat-resistant insulated coils, na tuluyang iniiwasan ang mga karaniwang mode ng pagkabigo, at maaaring pahabain ang MTBF hanggang sa 15,000-30,000 oras. Ang isang solong pag-aayos ng vacuum chamber sa isang continuous production line ay maaaring magkaroon ng komprehensibong gastos na umaabot sa 50,000-200,000 yuan, kabilang ang pagkawala ng kapasidad, pagkasira ng kapaligiran, at mga gastos sa manual calibration; ang mas mahabang panahon ng walang pagkabigo ay direktang maiiwasan ang mga mataas na gastos na dulot ng madalas na pagkabigo.

2. Disenyo na walang pangangailangang mag-maintain, na nagpapababa ng TCO ng buong lifecycle ng 40%-60%

Ang mga karaniwang motor sa vacuum condition ay kailangang baguhin ang grease tuwing 3-6 buwan, na isang prosesong mahirap, matagal, at may mataas na gastos. Ang vacuum motor na ito ay may kakayahang magdaan ng higit sa 50,000 cycle ng vacuum at magpatuloy sa pagpapatakbo nang walang pangangailangang mag-maintain sa loob ng higit sa 5 taon, na hindi na kailangang madalas na magbukas ng vacuum, mag-vacuum, o magpa-adjust ng kagamitan. Para sa mga research center at contract manufacturing plants na may daan-daang vacuum equipment, maaaring makatipid ng daan-daang libong yuan hanggang sa milyon-milyong yuan sa mga gastos sa pagpapanatili bawat taon.

Ikatlo, pagpapaikli ng panahon ng pananaliksik at pagpapabilis ng paglabas ng kagamitan sa merkado:

1. Pagpapaikli ng panahon ng sertipikasyon ng vacuum ng kagamitan ng 50%

Ang produkto ay ipinadala kasama ng kumpletong report ng mass spectrometry at cleanliness testing, na may rate of outgassing na mas mababa sa 1.3×10⁻⁵ Pa·m³/s, na ganap na nakakatugon sa mga pamantayan ng ultra-high vacuum equipment. Hindi na kailangang maglaan ng maraming oras ang mga tagagawa ng kagamitan para suriin ang compatibility ng motor sa vacuum, na maaaring pabilisin ang panahon ng pag-validate ng bagong produkto mula sa 6 na buwan hanggang sa 1 buwan, na malaki ang epekto sa pagpapabilis ng panahon ng pananaliksik, sertipikasyon, at paglabas ng produkto sa merkado, na nagbibigay ng kalamangan sa pag-agaw ng market share.

2. Suporta sa pagkamit ng ultra-high vacuum level na 10⁻⁷ Pa para sa buong makina:

Ang produkto ay mahigpit na sumusunod sa mga pamantayan ng NASA para sa kalinisan sa vacuum, na may total mass loss na TML<1%, condensable volatiles na CVCM<0.1%, at malinaw na tinutukoy ang mga limitadong parameter ng vacuum degree. Maaaring suportahan ang mga electron microscope, molecular beam epitaxy equipment, at mga high-end vacuum research apparatus na makamit ang mga ultra-high vacuum indicators, na tumutulong sa mga tagagawa ng kagamitan na taasan ang precision at antas ng buong makina, na nagiging sanhi ng mas mataas na presyo sa merkado at mas mataas na pagkilala sa industriya.

Ikaapat, pagtiyak sa tagumpay ng mga misyon sa space at pag-iwas sa mga mapaminsalang pagkabigo:

Ang produkto ay may mahusay na kakayahang lumaban sa irradiation at malawak na saklaw ng temperatura, na kayang tiisin ang total ionization dose na higit sa 100krad, at may working temperature range na sumasaklaw sa -196℃ hanggang +200℃. Tuluyang iniiwasan ang mga problema ng pagkaantala, short circuit, at pagkabulok ng motor sa mga extreme environment tulad ng deep space, satellite, at aviation. Maaaring epektibong maiwasan ang panganib ng pagkabigo ng mga high-end na kagamitan na nagkakahalaga ng daan-daang milyon hanggang sa bilyong dolyar dahil sa pagkabigo ng isang solong motor, na malaki ang epekto sa pagpapataas ng tagumpay ng mga national space missions.

Mga Aplikasyon

  1. Mga de-kalidad na kagamitan sa semiconductor: Vacuum wafer robotic arms, kagamitan sa coating, kagamitan sa etching, at mga de-kalidad na drive mechanism para sa vacuum transmission
  2. Mga kagamitan sa optical at vacuum processing: Vacuum coating machines, kagamitan sa pagproseso ng optical substrates, at mga drive system para sa ultra-high vacuum processing chambers
  3. Mga de-kalidad na instrumento sa pananaliksik: Electron microscopes, molecular beam epitaxy equipment, at mga vacuum motion mechanism para sa high-energy physics experiments
  4. Aeronautics at defense industry: Mga drive mechanism para sa satellite payloads, mga kagamitan para sa deep space exploration, at mga espesyal na motor para sa space vacuum irradiation conditions
  5. Mga de-kalidad na pagmamanupaktura sa sobrang kalinisan: Mga awtomatikong kagamitan sa vacuum para sa sobrang kalinisan sa workshop, at mga de-kalidad na drive mechanism para sa matinding saklaw ng temperatura

Mga Madalas na Tanong (FAQ)

Q1: Ano ang pangunahing pagkakaiba sa pagitan ng vacuum motor at ng ordinaryong motor?

A: Ang mga ordinaryong motor ay nagpapalabas ng malaking halaga ng gas sa vacuum condition, mabilis na nagsisingaw ang pagpapadulas, mahina ang pagpapalamig, at madalas na nagiging sanhi ng pagkabulok at pagkaantala dahil sa paglabas ng gas na nagpaparumi sa kapaligiran ng proseso; samantalang ang mga vacuum servo/stepper motor ay gumagamit ng mga espesyal na materyal at walang pagsingaw na proseso, na may super low outgassing, super long lubrication life, at low vibration clean operation, na angkop para sa mga ultra-high vacuum precision process scenes.

Q2: Maaari bang gamitin ang vacuum motor sa ultra-high vacuum at sobrang kalinisan na mga proseso?

A: Ganap na angkop, ang produkto ay may TML<1%, CVCM<0.1%, at rate of outgassing na nakakatugon sa mga pamantayan ng ultra-high vacuum, na hindi nagiging sanhi ng mga particle o polusyon na nagpaparumi, at maaaring gamitin sa mga equipment na may ultra-high vacuum level na 10⁻⁷ Pa.

Q3: Gaano kaiba ang maintenance cycle ng vacuum motor kumpara sa ordinaryong motor?

A: Ang mga ordinaryong motor ay kailangang magbukas ng vacuum para mag-maintain tuwing 3-6 buwan, habang ang vacuum motor na ito ay maaaring magpatuloy sa pagpapatakbo nang walang pangangailangang mag-maintain sa loob ng 5 taon, na may 50,000 cycle ng vacuum, na malaki ang epekto sa pagbawas ng mga gastos sa pagpapanatili at pagkabigo.

Q4: Maaari ba itong gamitin sa irradiation sa space at sa sobrang mababang temperatura?

A: Sinusuportahan ang operating range mula sa -196℃ hanggang +200℃, na may kakayahang lumaban sa radiation na higit sa 100krad, na ganap na angkop para sa mga deep space exploration, satellite payloads, at iba pang mga extreme space conditions.

Q5: Maaari ba itong makatulong sa buong makina na makatugon sa sertipikasyon ng kalinisan sa vacuum?

A: Maaaring magbigay ng kumpletong report ng mass spectrometry, rate of outgassing, at cleanliness testing, na tumutulong sa mga tagagawa ng kagamitan na pabilisin ang panahon ng sertipikasyon at mabilis na makamit ang mga pamantayan ng high-end na equipment na dapat mag-export sa ibang bansa.